Die Mittelfrequenz-Magnetronentladung im Druckbereich von 10 bis 100 Pa
- Die notwendigen konstruktiven Maßnahmen an den Sputterquellen, sowie die auftretenden Effekte beim Mittelfrequenz-Magnetronsputtern werden beschrieben und diskutiert. Als Modellsystem wurde Kupfer untersucht. Die Arbeit beinhaltet eine vergleichendes Zusammenstellung der Herstellungstechnologien. <!-- #h:dissdiplHochdrucksputtern.doc# -->
| Author: | Ralf Blüthner |
|---|---|
| Advisor: | Ullrich Reinhold, Kirchhoff |
| Document Type: | Diploma Thesis |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2000/09/11 |
| Year of first Publication: | 1995 |
| Date of final exam: | 1995/08/01 |
| Tag: | HTSL; Hochdrucksputtern; YBCO |
| GND Keyword: | Sputtern |
| Page Number: | 68 Seiten, 31 Abb., 0 Tab., 24 Lit. |
| Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
| Release Date: | 2000/09/11 |
