Molekularlagenabscheidung von organisch-anorganischen Hybridschichten
- Die effektive Verkapselung von flexiblen organischen Leuchtdioden ist ein wichtiger Bestandteil für die Erhöhung der Lebensdauer. Vielversprechend sind hier Nanolaminate, bei denen abwechselnd defektarme, anorganische Barriereschichten und flexible, organische Zwischenschichten hergestellt werden. In dieser Arbeit wurde ein Prozess zur Molekularlagenabscheidung (MLD) der organischen Schicht aus den Edukten Trimethylaluminium und 1,2-Ethandiol entwickelt und optimiert. Der Prozess ermöglicht die Herstellung von dünnen Schichten aus Poly (Aluminiumethandiol) mit einer Dichte von 1,7 g/cm3 und einem temperaturabhängigen Wachstum je Zyklus von 0,1 bis 0,05 nm für Abscheidetemperaturen von 90 bis 150°C. Infrarot- und photoelektronenspektroskopische Untersuchungen weisen auf einen Einbau der Kohlenstoffketten in die Schicht hin. Das Aufwachsen der Schichten erfolgt auf Aluminiumoxid substratverstärkt und zeigt für den verwendeten MLD-Prozess einen ungünstigen Reaktionsmechanismus an.
- The encapsulation from flexible organic light emiiting diodes is one of the most important process of lifetime increase. Promising results are showing nanolaminates, wherein alternate build-up from low defect, anorganic barrier layer and flexible, organic interlayer. In this thesis, it were developed and optimized a molecular layer deposition (MLD) process to deposite organic layer with the educts trimethylaluminium and 1,2-ethandiol. This process allows the fabrication of thin poly (aluminium ethandiol) layer with a density of 1.7 g/cm3 and a temperatur depending growth per cycle from 0.1 to 0.05 nm between 90 and 150 °C. Infrared and photoelectronic spectroscopic investigations show installation of carbon chain in the layer. The layer growth occur substrate enhanced on aluminium oxide and point out a disadvantageous reaction mechanism in this MLD process.
Author: | David Dustin Fischer |
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Advisor: | Christoph HoßbachGND, Hans-Dieter Schnabel |
Document Type: | Master's Thesis |
Language: | German |
Name: | Technische Universität Dresden, Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik Nöthnitzer Straße 64, 01187 Dresden |
Date of Publication (online): | 2018/02/22 |
Year of first Publication: | 2013 |
Publishing Institution: | Westsächsische Hochschule Zwickau |
Date of final exam: | 2013/04/30 |
Tag: | 1; 2-Ethandiol; ALD; Aluminiumalkoxid; Ethylenglykol; MLD; TMA; Trimethylaluminium |
Page Number: | 84 Seiten, 36 Abb., 21 Tab., 28 Lit. |
Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
Release Date: | 2018/02/22 |