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Erarbeitung eines Messverfahrens zur Bestimmung von mechanischen Spannungen stark gekrümmter Schichten

Development of a measuring method for the determination of mechanical stresses of strongly curved layers

  • In der vorliegenden Arbeit ist ein Messplatz zur Eigenspannungsbestimmung gekrümmter Dünnschichten erstellt worden. Es wurden nichtinvasive Messmethoden zur Eigenspannungsbestimmung gesammelt und auf Tauglichkeit für die gewünschten amorphen oder teilkristallinen Dünnschichtproben analysiert. Dünnschichten wurden mittels der Bogen -Plasma erweiterten chemischen Gasphasenabscheidung (arcPECVD) beschichtet und bezüglich der Eigenspannungen charakterisiert. Druckspannungen sind festgestellt worden.
  • In this thesis, a measuring station has been developed for the determination of residual stresses of curved thin films. Non-invasive measurement methods for residual stress determination were collected and analyzed for suitability for the desired amorphous or semicrystalline thin film samples. Thin films were coated by arc plasma enhanced chemical vapor deposition (arcPECVD) and characterized in terms of residual stresses. Compressive stresses have been established.

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Metadaten
Author:Nancy Tautenhahn
Advisor:Christel Reinhold, Michiel Top
Document Type:Master's Thesis
Language:German
Name:Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik
Winterbergstraße 28, 01277 Dresden
Date of Publication (online):2017/10/04
Year of first Publication:2017
Publishing Institution:Westsächsische Hochschule Zwickau
Date of final exam:2017/10/04
Tag:Messverfahren; Nanotechnologie; mechanische Spannungen; stark gekrümmte Schichten
Measuring methods; mechanical stresses; nanotechnology; strongly curved layers
Page Number:64 Seiten, 37 Abb., - Tab., 45 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik
Release Date:2019/10/30