Untersuchungen des Plasmas gepulst betriebener Dual-Magnetron-Systeme (DMS)

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Metadaten
Author:Andreas Fickert
Advisor:Andreas NeidhardtGND, Reschke
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Date of Publication (online):2000/09/11
Year of first Publication:1994
Date of final exam:1994/08/01
Tag:Bedampfungsprozeß
GND Keyword:DMS 77
Page Number:61 Seiten, 31 Abb., 1 Tab., 23 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik
Release Date:2000/09/11