Untersuchungen des Plasmas gepulst betriebener Dual-Magnetron-Systeme (DMS)
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Author: | Andreas Fickert |
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Advisor: | Andreas NeidhardtGND, Reschke |
Document Type: | Diploma Thesis |
Language: | German |
Date of Publication (online): | 2000/09/11 |
Year of first Publication: | 1994 |
Date of final exam: | 1994/08/01 |
Tag: | Bedampfungsprozeß |
GND Keyword: | DMS 77 |
Page Number: | 61 Seiten, 31 Abb., 1 Tab., 23 Lit. |
Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
Release Date: | 2000/09/11 |