Darstellung texturierter Diamantschichten

  • In dieser Arbeit wurden Diamantschichten mittels HFCVD-Verfahren auf Siliziumscheiben und Hartmetallwerkzeugen abgeschieden und hinsichtlich Textur und Qualität, in Abhängigkeit von den Prozeßparametern, untersucht. Das vorrangige Ziel bestand in der Herstellung von epitaktisch aufgewachsenen Diamantschichten auf Siliziumsubstraten, was besonders für die Mikroelektronik von Bedeutung ist. Es wurden aber auch Untersuchungen zur Abscheidung harter Verschleißschutzschichten auf Werkzeugen durchgeführt. <!-- #h:dissdiplDiamant.doc# -->

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Metadaten
Author:Frank Päßler
Advisor:Ullrich Reinhold, Leonhardt, Endler
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Date of Publication (online):2000/09/11
Year of first Publication:1997
Date of final exam:1997/10/10
GND Keyword:Diamant; Textur; Raman-Spektroskopie
Page Number:44 Seiten, 31 Abb., 4 Tab., 20 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik
Release Date:2000/09/11