Darstellung texturierter Diamantschichten
- In dieser Arbeit wurden Diamantschichten mittels HFCVD-Verfahren auf Siliziumscheiben und Hartmetallwerkzeugen abgeschieden und hinsichtlich Textur und Qualität, in Abhängigkeit von den Prozeßparametern, untersucht. Das vorrangige Ziel bestand in der Herstellung von epitaktisch aufgewachsenen Diamantschichten auf Siliziumsubstraten, was besonders für die Mikroelektronik von Bedeutung ist. Es wurden aber auch Untersuchungen zur Abscheidung harter Verschleißschutzschichten auf Werkzeugen durchgeführt. <!-- #h:dissdiplDiamant.doc# -->
MetadatenAuthor: | Frank Päßler |
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Advisor: | Ullrich Reinhold, Leonhardt, Endler |
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Document Type: | Diploma Thesis |
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Language: | German |
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Date of Publication (online): | 2000/09/11 |
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Year of first Publication: | 1997 |
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Date of final exam: | 1997/10/10 |
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GND Keyword: | Diamant; Textur; Raman-Spektroskopie |
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Page Number: | 44 Seiten, 31 Abb., 4 Tab., 20 Lit. |
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Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
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Release Date: | 2000/09/11 |
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