Strukturierung von PZT-Ultraschall-Mehrelementwandlern mittels Excimerlasermastenprojektion

  • Im Rahmen dieser Diplomarbeit wurde untersucht, ob die Excimerlasermastenprojektion als Technologie zur Herstellung hochintegrierter Ultraschall-Mehrelementenwandler aus Bleicironat-Titanat (PZT) eingesetzt werden kann. Außerdem beinhaltet diese Arbeit eine vergleichende Zusammenstellung der gegenwärtig verfolgten Technologien zur Herstellung von PZT-Mehrelementwandlern. <!-- #h:dissdiplPZT-Keramik.doc# -->

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Metadaten
Author:Hans-Dieter Wirth
Advisor:Wieland Zahn
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Date of Publication (online):2000/09/11
Year of first Publication:1998
Date of final exam:1998/10/15
GND Keyword:PZT Keramik; Wandler
Page Number:76 Seiten, 72 Abb., 10 Tab., 38 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik
Release Date:2000/09/11