Strukturierung von PZT-Ultraschall-Mehrelementwandlern mittels Excimerlasermastenprojektion
- Im Rahmen dieser Diplomarbeit wurde untersucht, ob die Excimerlasermastenprojektion als Technologie zur Herstellung hochintegrierter Ultraschall-Mehrelementenwandler aus Bleicironat-Titanat (PZT) eingesetzt werden kann. Außerdem beinhaltet diese Arbeit eine vergleichende Zusammenstellung der gegenwärtig verfolgten Technologien zur Herstellung von PZT-Mehrelementwandlern. <!-- #h:dissdiplPZT-Keramik.doc# -->