Durchführung von Untersuchungen zur Defektoskopie von Zirkonoxid-Foliensubstraten

  • Ziel der Diplomarbeit ist die Anpassung und Auswertung von Untersuchungen zur Defektoskopie von Zirkonoxid-Foliensubstraten mit dem Reflexionsverfahren. Es wird der Versuchsaufbau und die Durchführung beschrieben. Weiterhin werden die gewonnenen Ergebnisse mit den Messungen des Autofokusverfahrens, des Streifenprojektionsverfahrens und dem Mirau-Interferometer verglichen. Der Vergleich zeigt die wesentlichen Vor- und Nachteile der einzelnen Meßverfahren bei der Detektion von Oberflächenfehlern auf Zirkonoxid-Folien. <!-- #h:dissdiplOberflächenmeßtechnik.doc# -->

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Metadaten
Author:Ulrike Staudte
Advisor:Wolfgang ZscherpelGND, Großer
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Date of Publication (online):2000/09/11
Year of first Publication:1994
Date of final exam:1994/07/07
GND Keyword:Reflexion <Physik>; Autofokussystem
Page Number:84 Seiten, 32 Abb., 16 Tab., 7 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik
Release Date:2000/09/11