Durchführung von Untersuchungen zur Defektoskopie von Zirkonoxid-Foliensubstraten
- Ziel der Diplomarbeit ist die Anpassung und Auswertung von Untersuchungen zur Defektoskopie von Zirkonoxid-Foliensubstraten mit dem Reflexionsverfahren. Es wird der Versuchsaufbau und die Durchführung beschrieben. Weiterhin werden die gewonnenen Ergebnisse mit den Messungen des Autofokusverfahrens, des Streifenprojektionsverfahrens und dem Mirau-Interferometer verglichen. Der Vergleich zeigt die wesentlichen Vor- und Nachteile der einzelnen Meßverfahren bei der Detektion von Oberflächenfehlern auf Zirkonoxid-Folien. <!-- #h:dissdiplOberflächenmeßtechnik.doc# -->