Planung und Auswertung von Sub-Apertur-Interferometermessungen mit Schätzung der Meßunsicherheit

  • Sub-Apertur-Interferometermessungen sind zum Messen von Flächen geeignet, deren maximalen Abmessungen größer als die Apertur des verwendeten Interferometers sind. Dabei spielt eine ausführliche Schätzung der erreichten Meßunsicherheit eine große Rolle. Die Ergebnisse und der Meßaufwand können mit einer Versuchsplanung beeinflußt werden. <!-- #h:dissdiplInterferometermessungen.doc# -->

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Metadaten
Author:Dirk Peters
Advisor:Wolfgang ZscherpelGND, Hänsel
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Date of Publication (online):2000/09/11
Year of first Publication:1997
Date of final exam:1997/08/04
GND Keyword:Interferometer
Page Number:47 Seiten, 33 Abb., 1 Tab., 9 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik
Release Date:2000/09/11