Untersuchungen zur Optimierung von mit Reaktiven Gasflusssputtern (RGFS) hergestellten Aluminiumoxidschichten
- Das Reaktive Gasflusssputtern ist ein Hochratebeschichtungsver-fahren und wurde im Rahmen dieser Arbeit zur Herstellung von Aluminiumoxidschichten eingesetzt. Bestimmte Eigenschaften dieser Schichten, darunter die chemische Beständigkeit, der Brechungsindex, die Oberflächenenergie und die elektrische Durchbruchfeldstärke sind in Abhängigkeit einzelner Herstellungsparameter untersucht worden. Dem Einfluss des Reaktivgasflusses auf die Schichtmerkmale wurde besondere Aufmerksamkeit geschenkt, wobei neben Sauerstoff Distickstoffmonoxid (N2O) als alternatives Reaktivgas verwendet wurde. Zur Einschätzung der chemischen Beständigkeit wurde ein leicht zu standardisierendes Verfahren erarbeitet. Es beruht auf der Bestimmung der nasschemischen Ätzrate in verdünnter NaOH-Lösung. <!-- #h:dissdiplGasflusssputtern.doc# -->
Metadaten| Author: | Tino Jacob |
|---|
| Advisor: | Ullrich Reinhold, M. Höfer |
|---|
| Document Type: | Diploma Thesis |
|---|
| Language: | German |
|---|
| Date of Publication (online): | 2000/09/11 |
|---|
| Year of first Publication: | 1999 |
|---|
| Date of final exam: | 1999/10/08 |
|---|
| Tag: | Oberflächenenergie |
|---|
| GND Keyword: | Sputtern; Hohlkathode; Brechungsindexprofil |
|---|
| Page Number: | 57 Seiten, 27 Abb., 5 Tab., 39 Lit. |
|---|
| Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
|---|
| Release Date: | 2000/09/11 |
|---|
