Einsatz einer Netzhohlkathodenquelle zur Abscheidung ultradünner Kohlenstoffschichten
- Amorphe Kohlenstoffschichten werden als Korrosions- und Verschleißschutzschichten in Festplattenlaufwerken eingesetzt. Die rapide steigenden Speicherdichten setzen in naher Zukunft Schichtdicken von nur 2 nm voraus. Die momentan verwendeten Schichten werden durch das Magnetron-Sputterverfahren hergestellt. Dieses ist aber für ultradünne Schichten ungeeignet. In der vorliegenden Diplomarbeit wird die Herstellung von ultradünnen Kohlenstoffschichten mittels dem am Fraunhofer Institut für Schicht- und Oberflächentechnologien Braunschweig entwickelten Netzhohlkathodenverfahren beschrieben und die daran durchgeführten Untersuchungen dargelegt.
Author: | Peter Enders |
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Advisor: | Ullrich Reinhold |
Document Type: | Diploma Thesis |
Language: | German |
Date of Publication (online): | 2003/07/08 |
Year of first Publication: | 2001 |
Date of final exam: | 2001/11/02 |
Tag: | Hohlkathodenglimmendladung; Netzquelle; amorphe Kohlenstoffschichten Netzquelle |
Page Number: | 56 Seiten, 33 Abb., 7 Tab., 30 Lit. |
Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
Release Date: | 2003/07/08 |