Einsatz einer Netzhohlkathodenquelle zur Abscheidung ultradünner Kohlenstoffschichten

  • Amorphe Kohlenstoffschichten werden als Korrosions- und Verschleißschutzschichten in Festplattenlaufwerken eingesetzt. Die rapide steigenden Speicherdichten setzen in naher Zukunft Schichtdicken von nur 2 nm voraus. Die momentan verwendeten Schichten werden durch das Magnetron-Sputterverfahren hergestellt. Dieses ist aber für ultradünne Schichten ungeeignet. In der vorliegenden Diplomarbeit wird die Herstellung von ultradünnen Kohlenstoffschichten mittels dem am Fraunhofer Institut für Schicht- und Oberflächentechnologien Braunschweig entwickelten Netzhohlkathodenverfahren beschrieben und die daran durchgeführten Untersuchungen dargelegt.

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Metadaten
Author:Peter Enders
Advisor:Ullrich Reinhold
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Date of Publication (online):2003/07/08
Year of first Publication:2001
Date of final exam:2001/11/02
Tag:Hohlkathodenglimmendladung; Netzquelle; amorphe Kohlenstoffschichten
Netzquelle
Page Number:56 Seiten, 33 Abb., 7 Tab., 30 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik
Release Date:2003/07/08