Struktur und Eigenschaften von AglSi - und SilB4C - Nanometer - Multischichten
- Zielstellung dieser Diplomarbeit war es Silber und Borkerbid auf ihre Eignung als Barriereschichten im Multischichtsystem Rolsi zu untersuchen. Mittels OC Megnetronsputtertechnik wurden AglSi und SilB4C-Multischichtsysteme unterschiedlicher Schichtparameter hergestellt, deren Schichtstrukturen und Grenzflächenrauhigkeiten mit den Charakterisierungsmethoden Röntgenreflektometrie bzw. - Difraktometrie und ergänzend durch TEM-Untersuchungen und Temperversuche an ausgewählten Proben untersucht wurden. Die Schichtparameter werden mit der Simulationssoftware IMD ermittelt. Silber ist auf Grund seines Inselwachstums nicht als Barriereschicht geeignet. B4C hingegen erscheint sehr viewlversprechend als wirksame Bariere.
