Schädigungsanalyse an SAW-Bauelementen in Cu-Technologie

  • Untersucht wurde das Schädigungsverhalten von SAW-Strukturen bei hohen Belastungen (Inputleistung, Zeit). Dazu wurden die Materialien Al auf Ti, Alln und AlMg verwendet. Zur visuellen Auswertung dienten das Lichtmikroskop und das Rasterelektronenmikroskop während (in-sitn) der Belastungsexperimente. Simultan wurde das elektrische Verhalten der Proben (Admittanzkurve) mittels Mehrwertanalysator gemessen. Es wurden Tiefenprofilprofilmessungen (AES, SIMS) an den Barriereschichten Ta, Ti und TaSiN nach Temperaturen bis 400°C durchgeführt. Der Temperaturkoeffizient der Schichtfolge Ti/An/Ta wurde zu 2,47x10-3K-1 ermittelt.

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Metadaten
Author:Thomas KnothGND
Advisor:Wieland Zahn, Siegfried Menzel
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Date of Publication (online):2003/07/08
Year of first Publication:2001
Date of final exam:2001/08/30
Tag:SAW
GND Keyword:Oberflächenwelle
Page Number:54 Seiten, 62 Abb., 2 Tab., 27 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik
Release Date:2003/07/08