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Steffen Strehle

• In der vorliegenden Diplomarbeit wird ein verbessertes Metallisierungssystem für SAW-Fingerelektroden und Leitbahnen auf der Basis von CuAg-Legierungsschichten untersucht. Schwerpunkte sind die Herstellung der Dünnschichten mittels elektrochemischer Abscheidung unter Variation der Stromdichte und des Silbergehaltes sowie die Charakterisierung der Schichten. Die Beschichtung wurde ausschließlich im Gleichstrombetrieb auf unstrukturierten Substraten und ohne Additive durchgeführt. Besondere Bedeutung hinsichtlich der Resistenz gegen Akusto- und Elektromigration sowie dem Schaltverhalten kommt den elektrischen und mechanischen Eigenschaften zu. Untersucht werden der spezifische elektrische Widerstand, die Oberflächenrauhigkeit, Schichtspannungen und das Gefüge einschließlich der Kornorientierung in Abhängigkeit vom Legierungsgehalt. Des weiteren wurden die Schichthomogenität, die Silberverteilung, die chemische Zusammensetzung, der Elastizitätsmodul und die Härte bestimmt. Die Analysen erfolgten mittels REM, AFM, FIB, AES, AAS und TEM.