Evaluierung eines Mikrospiegel-Spektrometers und Applikationsanpassung für die Bestimmung von Gasen
- Am Fraunhofer Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration wird ein Mikrospiegel-Spektrometer entwickelt, dessen Vorzüge der einfache Aufbau, eine geringe Baugröße und ein geringer Energiebedarf sind. Ein industrietauglicher Prototyp dieses Spektrometers mit einem Scanbereich zwischen 2 Mikrometern und 5 Mikrometern Wellenlänge (mittleres Infrarot) wird in der vorgelegten Arbeit charakterisiert. Auf Kenngrößen, wie Auflösungsvermögen, Signal/Rausch-Verhältnis und Langzeitverhalten wird näher eingegangen. Ein Versuchsaufbau mit einer neu entwickelten Gasküvette erweitert den Anwendungsbereich auf die Messung von Gasen. Mit der Bestimmung ausgewählter Gase wird die Tauglichkeit des Spektrometers für diesen Anwendungsbereich bestätigt.
Metadaten| Author: | Jan Paschellis |
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| Advisor: | Th. Otto, Ray Saupe |
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| Document Type: | Diploma Thesis |
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| Language: | German |
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| Date of Publication (online): | 2004/06/14 |
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| Year of first Publication: | 2003 |
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| Date of final exam: | 2003/11/27 |
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| Tag: | Charakterisierung; Infrarot; MEMS; MOEMS; MST; Mikrospiegel; Spektroskopie |
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| Page Number: | 41 Seiten, 41 Abb., 4 Tab., 20 Lit. |
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| Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
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| Release Date: | 2004/06/14 |
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