Optimierung der online Analyse dünner Schichten mit bewegter Probe im Vakuum unter Nutzung der Röntgenfluoreszenzanalyse

  • Thema dieser Arbeit ist die Optimierung der online Analyse von Schichten mittels der Röntgenfluoreszenzanalyse. Es werden verschiedene Parameter auf ihre Wirkung auf die Messergebnisse untersucht werden und wenn möglich wird eine Lösung gefunden, den Einfluss zu beschränken. Begonnen wird mit der Überprüfung, ob Bandprobenmessungen und Plattenmessungen vergleichbar sind. Danach werden Überlegungen zu den Parametern des Messgerätes gemacht. Zuerst wird die Messdauer näher beleuchtet und ob diese die Ergebnisse verbessern kann. Es werden Hinweise zur richtigen Verwendung der Messdauer gegeben. Der nächste Punkt ist der Einfluss des Abstandes der Probe zur Röntgenfluoreszenzanalysegerät. Der Einfluss wird gemessen und näher erläutert. Als nächstes wurden Fehlerquellen, die mit der Probe zusammenhängen, untersucht. Es wird untersucht, ob durch Wölbungen oder Krümmungen die Messungen beeinflusst werden. Zum Schluss werden nach die Ergebnisse in Abhängigkeit mit der Oberflächenrauhigkeit der Proben untersucht.

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Metadaten
Author:Franziska Gränitz
Advisor: Neidhard, Rögner
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Name:Fraunhofer Institut für Elektroenstrahl- und Plasmatechnik
Winterbergstraße 28, 01277 Dresden
Date of Publication (online):2008/01/22
Year of first Publication:2007
Date of final exam:2007/09/19
GND Keyword:Schichtdicke; Dickenmessung; Fluoreszenz; Röntgenfluoreszenzspektroskopie
Page Number:58 Seiten, 32 Abb., 4 Tab., 19 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik
Release Date:2008/01/22