Optimierung von Produktparametern für Photomasken durch Applikation leitfähiger Schichten in der Elektronenstrahllithografie

  • Zielstellung der Evaluierung ist es, eine Aussage darüber zu treffen, ob die Anwendung des Materials Aquasave® bei Phasenschiebenden Masken als zusätzliche Lage auf Positivlack beim Schreiben der 1. Lage durch Elektronenstrahlschreiber produktionstauglich ist und Erwartungen hinsichtlich der Produktparameter CD, Auflösung, Platzierungsfehler und Linerität erfüllt.

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Metadaten
Author:Leif Mothes
Advisor:Gunter Krautheim, Timo Wandel
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Name:Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG
Rähnitzer Allee 9, 01109 Dresden
Date of Publication (online):2008/06/25
Year of first Publication:2007
Date of final exam:2007/10/01
Tag:leitfähige Polymere
Page Number:75 Seiten, 47 Abb., - Tab., 19 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik
Release Date:2008/06/25