Optimierung von Produktparametern für Photomasken durch Applikation leitfähiger Schichten in der Elektronenstrahllithografie
- Zielstellung der Evaluierung ist es, eine Aussage darüber zu treffen, ob die Anwendung des Materials Aquasave® bei Phasenschiebenden Masken als zusätzliche Lage auf Positivlack beim Schreiben der 1. Lage durch Elektronenstrahlschreiber produktionstauglich ist und Erwartungen hinsichtlich der Produktparameter CD, Auflösung, Platzierungsfehler und Linerität erfüllt.
Author: | Leif Mothes |
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Advisor: | Gunter Krautheim, Timo Wandel |
Document Type: | Diploma Thesis |
Language: | German |
Name: | Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG Rähnitzer Allee 9, 01109 Dresden |
Date of Publication (online): | 2008/06/25 |
Year of first Publication: | 2007 |
Date of final exam: | 2007/10/01 |
Tag: | leitfähige Polymere |
Page Number: | 75 Seiten, 47 Abb., - Tab., 19 Lit. |
Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
Release Date: | 2008/06/25 |