Thermo-mechanische Untersuchungen von kleinen mikrotechnischen Strukturen

  • Die Diplomarbeit beschäftigt sich mit der Entwicklung einer hybriden Methodik zur Charakterisierung des thermischen und/oder mechanischen Belastungsverhaltens von MEMS-Basiskomponenten, hergestellt im MEMSLab der WHZ. Dabei werden sowohl unterschiedliche Messverfahren untereinander als auch Experiment und Simulation miteinander gekoppelt und auf ihre Anwendbarkeit untersucht. Ein modular aufgebautes Prüfstandsmodul, inklusive anwendungsspezifisch entwickelter Heizelemente, wird konzipiert, gebaut und erfolgreich eingesetzt. Die gewonnenen Messergebnisse werden zur Abstimmung und Verifizierung von parallel aufgebauten FE-Modellen genutzt. Durch die Darlegung der analytischen Grundlagen der betrachteten Problemstellungen und den Aufbau von parametrisierten Berechnungsmodellen werden flexible Simulations- und Modellanpassung ermöglicht. Damit steht ein leistungsfähiges Werkzeug zur Identifikation von anwendungsspezifischen Optimierungspotenzialen an MEMS-Strukturen zur Verfügung, welches im Rahmen der Diplomarbeit an drei ausgewählten Strukturen zum Einsatz kommt. Ein Ausblick auf Erweiterungs- und Optimierungspotenziale der vorgestellten Methode schließt die Arbeit ab.

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Metadaten
Author:Maik Schönfeld
Advisor:Jürgen Vogel, Jürgen Grimm
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Name:Westsächsische Hochschule Zwickau
Dr.-Friedrichs-Ring 2A, 08056 Zwickau
Date of Publication (online):2008/11/27
Year of first Publication:2008
Date of final exam:2008/11/26
Tag:optische Feldmessverfahren; thermomechanische Beanspruchungsanalyse
GND Keyword:MEMS; Finite-Elemente-Methode
Page Number:87 Seiten, 93 Abb., 12 Tab., 47 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Maschinenbau und Kraftfahrzeugtechnik (bis 2018)
Release Date:2008/11/27