Open Access

Johann Fell

• Die Arbeit befasst sich mit der Herstellung von elektrochemisch abgeschiedenen Cu-Schichten, die mit den senkrecht zur Substratoberfläche ausgerichteten CNTs verstärkt wurden. Die Herstellung der CNTs erfolgte unter Anwendung eines thermischen CCVD-Prozesses. Es wurde dabei der Einfluss von unterschiedlichen Unterlagen-, Katalysatormaterialen, der Art der Katalysatordeposition und Trägergase auf das CNT-Wachstum untersucht. Zusätzlich wurden unterschiedliche Methoden zur CNT-Funktionalisierung getestet und die Veränderungen der einzelnen Functionalisierungsgruppengehalte mit Hilfe von XPS analysiert. Die Cu-Abscheidung erfolgte auf dei CNT-beschichtete Substrate. Die Analyse der Cu-Kompositschichten erfolgte mit Hilfe von REM, FIB und TEM.
• This work study the fabrication of electro plated Cu layers, that was reinforced by vertically aligned CNTs. The CNTs was fabricated by using a thermical CCVD process. The effect of using different basis and catalyst materials, catalyst deposition methods and carrier gases on the CNT growth was analysed. Additionally different methods of CNT functionalisation was tested. The changing of concentration of different functional groups was analysed by XPS. The Cu was deposited on the CNT coated substrates. The Cu composite layers was analysed by REM, FIB and TEM