Konzeptentwicklung für die automatisierte Konfektion von Losen in Testscheibenkreisläufen
- Die vorliegende Diplomarbeit befasst sich mit der automatisierten Zusammenstellung und Auflösung von Testscheibenlosen in der Halbleiterfertigung. Die Automatisierung dieser Abläufe ist notwendig, um Kosten zu reduzieren bzw. Testscheiben einzusparen. Die bestehenden manuellen Abläufe für die Zusammenstellung und Auflösung von Testscheibenlosen, wurden am Standort Dresden der Qimonda AG analysiert. Die Voraussetzungen, für eine automatisierungsgerechte Umsetzung, wurden im Hinblick auf eine Lösung für mehrere Fertigungsstandorte entwickelt. Besondere Beachtung wurde auf Möglichkeiten zur Optimierung des Testscheibenverbrauches gelegt. Die Anforderungen für die not-wendigen Softwareapplikationen und Hardwarekomponenten wurden neu definiert bzw. teilweise erweitert.
| Author: | Swen König |
|---|---|
| Advisor: | Christel Reinhold, Martin Peiter |
| Document Type: | Diploma Thesis |
| Language: | German |
| Name: | Qimonda AG, Dresden i. In. Königsbrücker Strasse 180, 01099 Dresden |
| Date of Publication (online): | 2009/11/19 |
| Year of first Publication: | 2009 |
| Date of final exam: | 2009/06/26 |
| Tag: | Einzelscheibenstocker; Fabriksteuerung; Sorter; Testscheibe |
| GND Keyword: | Halbleiterindustrie; Automation; Wafer |
| Page Number: | 62 Seiten, 17 Abb., 23 Tab., 14 Lit. |
| Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
| Release Date: | 2009/11/19 |
