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Steffen Walbert

• Autorenreferat Noch immer sind herkömmlich hergestellte AFM-Cantilever trotz der auf dem Markt in vielen Varianten erhältlichen mikromechanischen Sensoren in der Herstellung teuer und in der Anwendung wegen der materialspezifischen Probleme eingeschränkt. Einfacher und preiswerter lassen sich diese Cantilever herstellen, wenn es möglich ist, den Herstellungsprozess vor allem mittels lithografischer Verfahren durchzuführen. In vorangegangen Arbeiten ist es gelungen, solche Cantilever, auf Basis des Photoresists SU-8, in der Fachgruppe Mikrosystemtechnik an der WHZ herzustellen. Der Einsatz dieses Polymers bringt durch die materialspezifischen Eigenschaften weitere Vorteile für den Einsatz in der Rasterkraftmikroskopie mit sich. Wichtig hierfür ist es, die dafür notwendigen Materialkenngrößen wie Elastizitätsmodul, Federkonstante und Eigenfrequenz des Cantilevers genau zu kennen. Ziel dieser Arbeit ist es diese Cantilever bzgl. ihrer Eigenschaften zu charakterisieren. Hierfür wird als erster Schritt die Anwendbarkeit der Kraftkalibrierung mit der Methode nach Sader et. al., in Verbindung mit dem Anfatec Level AFM, ermittelt. Weiterhin werden die verschiedenen Cantilever auf ihre Geometrie überprüft und mit diesen Daten sowie der erwähnten Methode die Federkonstanten und der E-Modul bestimmt. Im dritten Teil dieser Arbeit erfolgen erste Untersuchungen zum Güte- und Resonanzverhalten von SU-8 Cantilevern unter Vakuumbedingungen.