Verbesserung der Uniformität bei der Strukturierungsätzung einer Grabenisolation durch Optimierung der Hochfrequenzeinkopplung an AMAT DPSplus Anlagen
- In dieser Diplomarbeit werden nun mögliche Ursachen für die Nonuniformität der Tiefenätzung untersucht, welche direkt oder indirekt mit der HF-Einkopplung durch die Hochfrequenzspule zusammen hängen. Dabei werden auch die Ergebnisse einer Magnetfeldmessung der Spulen mit dem Ätzbild der Tiefenätzung verglichen und mögliche qualitative Übereinstimmungen gesucht. Es wird eine konkrete Lösung im Sinne der Problemstellung dargestellt.
| Author: | Frank Berhorst |
|---|---|
| Advisor: | Ullrich Reinhold, J. Recklies |
| Document Type: | Diploma Thesis |
| Language: | German |
| Name: | Infineon Technologies Dresden Königbrücker Str. 180, 01099 Dresden |
| Date of Publication (online): | 2009/11/19 |
| Year of first Publication: | 2009 |
| Date of final exam: | 2009/08/06 |
| Tag: | STI-Ätzung |
| GND Keyword: | Uniformität |
| Page Number: | 67 Seiten, 25 Abb., 2 Tab., 22 Lit. |
| Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
| Release Date: | 2009/11/19 |
