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Claudia Fleischmann

• Thema dieser Diplomarbeit ist die Ablation periodischer Mikrostrukturen mittels Femtosekunden-Pulsen eines Ti:Saphir-Lasers unter Nutzung der Laserinterferenztechnik.Der Schwerpunkt liegt auf der gezielten Änderung der Strukturtopographie durch die definierte Beeinflussung von Anzahl, Phase sowie Lage der interferierenden Teilstrahlen. Flexibel gestaltbare Mikrostrukturen sind u.a. die Basis für die Herstellung photonischer Kristalle. Die Vorteile der Laserstrahlung, speziell ultrakurzer Pulse, in der Materialbearbeitung ermöglichen einen schädigungsarmen, direkten Materialabtrag im Mikrometerbereich. Dies gestattet den Einsatz von Femtosekundenlasern für die Herstellung periodischer Mikro- und Nanostrukturen. Die Aufspaltung des einfallenden Laserstrahles in zwei oder mehrere Teilstrahlen wird durch optische Transmissionsgitter realisiert. Über Anzahl und Typ der Beugungsgitter (Amplituden- bzw. Phasengitter) kann die Anzahl und Konfiguration der entstehenden Teilstrahlen beeinflusst werden. Die Phasenbeziehung der einzelnen Strahlen kann über Regelung des Abstands zwischen den optischen Gittern nahezu exakt kontrolliert werden. Für die Überlagerung der Teilstrahlen, unter Berücksichtigung der Interferenzbedingung, werden diese über ein Schwarzschild-Reflexions- bzw. Linsenobjektiv auf der Probenoberfläche zusammengeführt. Mit dieser Methode lassen sich verschiedenartige Mikrostrukturen erzeugen, deren Größe und Topographie von den definierten Eigenschaften der interferierenden Teilstrahlen abhängig sind. Die Strukturtiefen und