Röntgenografische Dichte-, Spannungs- und Texturuntersuchungen an AlN- bzw. Ag-Schichten in Abhängigkeit der Herstellungsbedingungen
- Diese Arbeit handelt von der röntgenografischen Dichtemessung mittels Röntgenreflektometrie an gesputterten AlN-Schichten am D8 Discover von Bruker und der Auswertung der Messergebnisse. Desweiteren geht es um röntgenografische Spannungsmessungen an ebenfalls gesputterten AlN-Schichten und deren Messergebnisse. Ebenso wurden Texturmessungen an im Vakuum aufgedampften Silberschichten durchgeführt.
| Author: | Marc Pügner |
|---|---|
| Advisor: | Christel Reinhold, Andreas NeidhardtGND |
| Document Type: | Bachelor Thesis |
| Language: | German |
| Name: | Westsächsische Hochschule Zwickau Dr.-Friedrichs-Ring 2A, 08056 Zwickau |
| Date of Publication (online): | 2010/09/06 |
| Year of first Publication: | 2010 |
| Publishing Institution: | Westsächsische Hochschule Zwickau |
| Date of final exam: | 2010/08/30 |
| Page Number: | 35 Seiten, 19 Abb., 3 Tab., 3 Lit. |
| Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
| Release Date: | 2010/09/06 |
