Untersuchungen zum SAD-Prozess mit heißem Graphittiegel

  • Die für die Plasmaaktivierung eingesetzte diffuse kathodische Vakuumbogenentladung, bei der Elektronenstrahl-Hochratebedampfung, SAD-Prozess (engl.: spotless arc activated deposition - SAD), ist in dieser Arbeit am heißen Graphittiegel untersucht worden. Für die Entladung wurde erstmals eine mittelfrequent gepulste Bogenstromversorgung eingesetzt, mit der es möglich ist, bipolare (Bp) oder unipolare Pulse (Up) bzw. Gleichstrom (DC) zu verwenden. Die diffuse Bogenentladung, mit heißem Tiegel, wird anhand ihrer Strom-Spannung-Kennlinien beschrieben. Desweiteren ist geprüft worden, ob die diffuse Bogenentladung, durch Verwendung eines heißen Tiegels, auch ohne Elektronenstrahlverdampfen betrieben werden kann und ob sich Graphit als Tiegelmaterial bei der Elektronenstrahlverdampfung eignet.
  • The diffuse cathodic vacuum arc discharge, furthermore named spotless arc, known as an efficient plasma source of high-rate electron beam deposition, was investigated in this work with a hot crucible. For the first time a pulsed power source was used for the diffuse cathodic vacuum arc discharge. The device is able to deliver bipolar or unipolar pulse or dc current. Three different tasks are discussed in this work. In the first task, the spotless arc with hot crucible is illustrated by the current- voltage characteristic. In the second task, electron beam power is reduced to prove and specify the possibility of the self-maintained spotless arc. At last the graphite crucible is reviewed as application for electron beam evaporation.

Export metadata

Additional Services

Metadaten
Author:Martin Kirchhoff
Advisor:Bert Scheffel, Ullrich Reinhold
Document Type:Bachelor Thesis
Language:German
Name:Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Winterbergstraße 28, 01277 Dresden
Date of Publication (online):2012/09/13
Year of first Publication:2012
Publishing Institution:Westsächsische Hochschule Zwickau
Date of final exam:2012/02/28
Tag:Elektronenstrahl; Graphittiegel
arc; cathodic; diffuse; discharge; graphite; vacuum
GND Keyword:Bogenentladung; Vakuum
Page Number:37 Seiten, 32 Abb., 1 Tab., 15 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik
Release Date:2012/09/13