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Stefan Hinze

• Organische Leuchtdioden (OLEDs) gewinnen in der heutigen Zeit immer mehr an Bedeutung. Ihre Flexibilität und die Eigenschaft, über eine konstante Fläche zu leuchten, machen sie für viele Anwendungen interessant. Um sie gegen Umwelteinflüsse zu schützen, werden die OLEDs mit einer möglichst defektfreien Barriereschicht versehen. Durch Defekte in der Schicht kann Wasserdampf hindurch permeieren und das Bauteil zerstören. Daher wird in dieser Arbeit der Einfluss des Reinigungszustands und die Konfiguration der Beschichtungsanlage auf die Defektdichte von gesputterten Zink-Zinn-Oxid Barriereschichten untersucht. Allgemein wurde festgestellt, dass die Defektdichten aller Proben sehr gering und kaum signifikante Unterschiede zu erkennen waren. Bei den ersten Versuchsreihen war die Anlage von anderen vorherigen Prozessen verschmutzt und wies eine höhere Partikeldichte auf. Diese wurden in die Schichten mit eingebaut und erhöhten somit die Defektdichten der ersten Folienrollen im Vergleich zu nachfolgenden Proben. Eine Reinigung der Anlage mit Ethanol sowie das Sandstrahlen von Blechen und Blenden brachte eine geringe Verbesserung der Defektdichten. Die Verwendung einer Vorlaufreinigungsfolie erzielte ebenfalls eine kleine Verringerung der Defektanzahl. Die Wasserdampftransmissionsraten (WVTR) der Schichten lagen alle sehr nah beieinander. Es konnte kein signifikanter Zusammenhang zwischen Reinigungszustand und Barrierewirkung festgestellt werden.
• Organic light-emitting diodes (OLEDs) become more important in today's world. Their flexibility and the ability to illuminate over a constant area make them interesting for many applications. To protect them against environmental influences, the OLEDs are provided with a barrier layer whose defect density is as low as possible. Through defects in the layer, water vapor can permeate through and destroy the component. Therefore, the influence of the cleaning state and the configuration of the coating plant on the defect density of sputtered zinc-tin oxide barrier layers are examined in this work. Generally, it was found that the defect densities of all samples were very low and significant differences couldn't be detected. In the first series of tests, the plant was contaminated by other previous processes and had a higher particle density. These particles were deposited into the layers and thus increased the defect densities of the first film rolls compared to following samples. The cleaning of the plant with ethanol and the sandblasting of metal plates improved the defect densities a bit. The application of a cleaning film also achieved a small reduction in the defect number. The water vapor transmission rates (WVTR) of the layers were all very close together. No significant relation between the cleaning state and the barrier effect could be found.