Mechanische und tribologische Eigenschaften von PVD AlN-Schichten

Mechanical and tribological qualities of PVD AlN-layers

  • In dieser Arbeit werden die mechanischen, tribologischen und optischen Eigenschaften von Aluminiumnitridschichten untersucht, die mithilfe von PVD (Sputtern) abgeschieden wurden. Zunächst geht man auf die Eigenschaften ein, die von Aluminiumnitrid (-schichten) zu erwarten sind. Darunter zählen die strukturellen, mechanischen und die optischen Eigenschaften. Im darauf folgenden Teil wird auf die verwendeten Messverfahren eingegangen. Darunter zählen Wägemethode (Schichtdicke), Ellipsometrie (Schichtdicke und optische Konstanten), Röntgenreflektometrie (Schichtdicke), Deflexionsverfahren (mechanische Schichtspannungen), Ritztest (Tribologie, Haftfestigkeit), EDX- und XPS-Analyse (Zusammensetzung) und Röntgenphasenanalyse (Kristallstruktur). Der nächste Teil der Arbeit beschreibt den Sputterprozess. Danach folgt eine Übersicht über die Abscheidungen und die verwendeten Abscheideparameter (Druck, Stromstärke, Reaktivgasdruck, Gasflüsse, Spannung, Leistung, Beschichtungszeit). Im vorletzten Teil der Arbeit werden die, an den abgeschiedenen Schichten durchgeführten, Messungen interpretiert. Die daraus resultierenden Schichteigenschaften werden mit den erwarteten Eigenschaften verglichen. Als Letztes erfolgt eine Zusammenfassung

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Metadaten
Author:Thomas Beier
Advisor:Ullrich Reinhold, Andreas NeidhardtGND
Document Type:Bachelor Thesis
Language:German
Name:Westsächsische Hochschule Zwickau
Dr.-Friedrichs-Ring 2A, 08056 Zwickau
Date of Publication (online):2018/02/22
Year of first Publication:2011
Publishing Institution:Westsächsische Hochschule Zwickau
Date of final exam:2011/08/15
Tag:Dünnschicht; Ritztest; Schichtspannungen
GND Keyword:Aluminiumnitrid; Reaktives Sputtern; Sputtern; Magnetron; PVD-Verfahren; Abscheidung; Beschichten; Brechzahl; Brechzahlmessung; Absorptionsk
Page Number:40 Seiten, 24 Abb., 21 Tab., 24 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik
Release Date:2018/02/22