Charakterisierung und Pilotversuche zu einem thermoformbaren Resistmaterial fuer die Nanoreplikation

  • Diese Masterarbeit beschäftigt sich mit der Charakterisierung des neuartigen, thermoformbaren Resistmaterials
  • This master thesis deals with the characterization of the newly developed thermo-forming resist

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Metadaten
Author:Steffi Block
Advisor:Daniel SchondelmaierGND, Andreas NeidhardtGND
Document Type:Master's Thesis
Language:German
Name:Westsächsische Hochschule Zwickau
Dr.-Friedrichs-Ring 2A, 08056 Zwickau
Date of Publication (online):2018/02/22
Year of first Publication:2013
Publishing Institution:Westsächsische Hochschule Zwickau
Date of final exam:2013/06/10
Tag:Kontaktwinkel; Nanoimprint; Resist; Spincoating
Page Number:70 Seiten, 31 Abb., 9 Tab., 36 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik
Release Date:2018/02/22