Charakterisierung und Pilotversuche zu einem thermoformbaren Resistmaterial fuer die Nanoreplikation
- Diese Masterarbeit beschäftigt sich mit der Charakterisierung des neuartigen, thermoformbaren Resistmaterials
- This master thesis deals with the characterization of the newly developed thermo-forming resist
Author: | Steffi Block |
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Advisor: | Daniel SchondelmaierGND, Andreas NeidhardtGND |
Document Type: | Master's Thesis |
Language: | German |
Name: | Westsächsische Hochschule Zwickau Dr.-Friedrichs-Ring 2A, 08056 Zwickau |
Date of Publication (online): | 2018/02/22 |
Year of first Publication: | 2013 |
Publishing Institution: | Westsächsische Hochschule Zwickau |
Date of final exam: | 2013/06/10 |
Tag: | Kontaktwinkel; Nanoimprint; Resist; Spincoating |
Page Number: | 70 Seiten, 31 Abb., 9 Tab., 36 Lit. |
Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
Release Date: | 2018/02/22 |