Vergleichende Evaluierung unterschiedlicher Konzepte zur Realisierung eines Pulsformsensors für Excimerlaser
Comparative evaluation of different concepts for the realization of a pulse form sensor for Excimer Laser
- Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Entwicklung eines Systems zur Pulsformanalyse kurze Pulse eines Excimerlaser. Mit diesem System soll eine Echtzeitmessung umgesetzt werden um die Betriebsparameter des Lasers während des Prozesses anpassen zu können. Dazu wurden verschiedene Detektoren und Detektormaterialen miteinander verglichen. Außerdem wurde ein schneller Silizium-Carbid Fotodetektor entwickelt, der für den UV-Bereich hervorragende spektrale Eigenschaften besitzt. Des Weiteren wurden die Pulse des Excimerlasers ausgewertet und ein darauf abgestimmtes Messsystem zusammengestellt.
- This thesis deals with the problem, to assess the time curve of an excimer laser (248nm), it is inevitable to use an absolutely reliable measuring system. This should allow for measurements of ultrashort pulses during operation to perfectly adjust the operation parameter of the laser. For this purpose, ultraviolet detector with a silicon carbide photodiode that has an eminently suitable spectral sensitivity for the excimer wavelength was developed. The self-developed photodetector was then compared with the efficiency of commercially available ones.
| Author: | Tom Hüttl |
|---|---|
| Advisor: | Peter HartmannGND, Tobias Baselt |
| Document Type: | Bachelor Thesis |
| Language: | German |
| Name: | Westsächsische Hochschule Zwickau Dr-Friedrichs-Ring 2, 08012 Zwickau |
| Date of Publication (online): | 2018/02/22 |
| Year of first Publication: | 2016 |
| Publishing Institution: | Westsächsische Hochschule Zwickau |
| Date of final exam: | 2016/04/20 |
| Tag: | Excimerlaser; Fotodetektor; Pulsformsensor; Silizium Carbid Excimer Laser; photodiode; pulse shaping; silicon carbide |
| Page Number: | 40 Seiten, 41 Abb., 5 Tab., 8 Lit. |
| Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
| Release Date: | 2018/02/22 |
