Oberflächen- und Klebercharakterisierung zum reproduzierbaren Kleben von Ultraschallwerkzeugen für die Mikrostrukturierung von Glas Wafer

  • In der Arbeit geht es um den Herstellungsprozess von Ultraschallwerkzeugen für die Strukturierung von Glaswafer. Dabei kommt es häufig zu Nadelverlusten der Ultraschallwerkzeugen. Dieser Nadelverlust wird durch Oxidschichtdicken, mechanische Belastungen, Luft in den Bohrungen und Restverschmutzungen hervorgerufen. In der Masterarbeit wird ein neuer Herstellungsprozess beschrieben, der die Ursachen des Verlustes entgegen wirkt.

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Metadaten
Author:Tommy Müller
Advisor:Wieland Zahn, Janina Schnoor
Document Type:Master's Thesis
Language:German
Name:Schott AG
Hüttenstraße 1, 31073 Grünenplan
Date of Publication (online):2018/02/22
Year of first Publication:2016
Publishing Institution:Westsächsische Hochschule Zwickau
Date of final exam:2016/05/09
Tag:Glas Wafer; Kleben; Titanoxid; Ultraschallschwingläppen
Page Number:118 Seiten, 107 Abb., 1 Tab., 35 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik
Release Date:2018/02/22