Oberflächen- und Klebercharakterisierung zum reproduzierbaren Kleben von Ultraschallwerkzeugen für die Mikrostrukturierung von Glas Wafer
- In der Arbeit geht es um den Herstellungsprozess von Ultraschallwerkzeugen für die Strukturierung von Glaswafer. Dabei kommt es häufig zu Nadelverlusten der Ultraschallwerkzeugen. Dieser Nadelverlust wird durch Oxidschichtdicken, mechanische Belastungen, Luft in den Bohrungen und Restverschmutzungen hervorgerufen. In der Masterarbeit wird ein neuer Herstellungsprozess beschrieben, der die Ursachen des Verlustes entgegen wirkt.
Author: | Tommy Müller |
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Advisor: | Wieland Zahn, Janina Schnoor |
Document Type: | Master's Thesis |
Language: | German |
Name: | Schott AG Hüttenstraße 1, 31073 Grünenplan |
Date of Publication (online): | 2018/02/22 |
Year of first Publication: | 2016 |
Publishing Institution: | Westsächsische Hochschule Zwickau |
Date of final exam: | 2016/05/09 |
Tag: | Glas Wafer; Kleben; Titanoxid; Ultraschallschwingläppen |
Page Number: | 118 Seiten, 107 Abb., 1 Tab., 35 Lit. |
Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
Release Date: | 2018/02/22 |