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Year of publication
2005
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Document Type
Diploma Thesis
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Institute
Physikalische Technik, Informatik
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Language
German
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Author
Hallbauer, Antja (1)
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Herstellung und Charakterisierung von dünnen Nb2O5-Schichten und Plasmauntersuchung während d. reaktiven RLVIP-Prozess
(2005)
Hallbauer, Antja
In dieser Diplomarbeit wurden die opt. (Brechwert n550 ) opt. Absorptionskoeffizient k515) und die mech. Eigenschaft (Schichtspannungen) von RLVIP-Nb2O5
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