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In vorliegender Arbeit geht es um die Stabilitätskontrolle von Backendstrukuren mit ULK-Materialien. Weil die Strukturen bei der Mikrochipherstellung immer kleiner werden, müssen neuartige Materialien für die Isolierung der Leiterbahnen entwickelt werden. Diese Materialien nennt man ultra-low-k-Materialien, kurz ULK. Sie besitzen einer niedrige Dieelektrizitätszahl k. Diese Materialien kommen in den Verdrahtungsebenen im Mikrochip zum Einsatz und dienen dort als Isolator zwischen den Leitungsbahnen. Ulk beeinflusst jedoch die Stabilität des Backend negativ. Aus diesem Grund müssen schon in der Entwicklungsphase eines Mikrochips Tests durchgeführt werde. Der hier verwendete Test nennt sich Bump Assisted Backend of Line Stability Indentation Test (kurz BABSI-Test. Dieser Test ist durch GLOBALFOUNDRIES Dresden patentiert.Hierbei wird mit einer Nanoindenternadel in den Bump indentiert und anschließend ein Ritztest durchgeführt. Dabei kommt es durch die Lateralkraft, welche über dem Bump in das Backend ein gekoppelt wird, zu einer Schädigung im Backend. Die Lateralkraft bei der das Backend geschädigt wird dient als Stabilitätskennzahl. Somit können verschiedene Backendvarianten bzw. verschiedene Fertigungsprozesse miteinerander verglichen werden. In der Arbeit werden verschiedene Versuche durchgeführt, um den BABSI-Test zu verbessern. So kommen zum Beispiel verschiedene Indenterspitzen zum Einsatz.
Gegenstand dieser Bachelorarbeit ist der Wassergehalt im Dieselkraftstoff. Es wird ein Überblick über den Aufbau von Dieselkraftstoff gegeben und Kraftstoffkennwerte besprochen, die wichtig für Qualitäts- und Funktionalitätstests von Hochdruckpumpen und Injektoren für ein Common-Rail-Einspritzsystem sind. Es werden Wege aufgezeigt, wie Wasser in den Dieselkraftstoff gelangen kann und welche Auswirkungen auf den Kraftstoff und auf die Prüflinge dies hat. Als Methoden zur Bestimmung des Wassergehaltes werden die Karl-Fischer-Titration, zur Messung des absoluten Wassergehaltes, und ein Feuchtesensor, zur Bestimmung des relativen Wassergehaltes, erläutert. Weiterhin wird diskutiert wie man Wasser, welches in Kraftstoff nicht löslich ist, in den Dieselkraftstoff einbringen kann und wie man die Stabilität der entstehenden Emulsionen verbessert. Abschließend werden Vorschläge zur Verbesserung von Tests mit Wasser im Dieselkraftstoff gegeben.