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Bei vielen Technologien in der Halbleiterfertigung ist es erforderlich, Germanium zu implantieren. Der Grund dafür, ist die Amorphisierung der Substratschichten. Da Germanium als reiner Stoff nur bei hohen Temperaturen verdampft werden kann, wird es in der Fertigung in Verbindung mit Fluor eingesetzt. Bei dieser Verbindung handelt es sich um Germaniumtetrafluorid. Da in jedem Gasmolekül vier Fluor-Atome enthalten sind, hat das stöchiometrische Verhältnis einen großen Einfluss auf die Ionenquellenlebenszeit. Diese ist im Vergleich zu anderen Hochstromprozessen, um ein Vielfaches niedriger. Der Grund für den hohen Verschleiß ist der Halogenkreisprozess. Dabei wird Material von der Quellenwandung abgetragen und lagert sich an den heißesten Stellen in der Quelle an. Um das Problem zu lösen, gibt es sehr viele Ansätze. Die Ionenquelle bietet in ihrem Aufbau viele Variationsmöglichkeiten. Aufgrund der unterschiedlichen, physikalischen Ansätze wurden folgende vier Schwerpunkte untersucht: - Einfluss Plasmakammervolumen - Plasmakammermaterialien
Bestimmung der interfraktionellen Beweglichkeit der Prostata-Untersuchungen an CT- Kontrollserien-
(2011)
Das Prostatakarzinom zählt zu den häufigsten Tumorerkrankungen des Mannes. Abhängig vom Tumorstadium kann die alleinige Strahlentherapie zur vollständigen Genesung führen. Studien zeigen, dass eine Dosiseskalation der Gesamtdosis diese Erfolgsquote weiter steigern kann. Um potentielle Organbewegungen sowie Positionierungsunsicherheiten zu berücksichtigen, wird bei der Bestrahlungsplanung ein Sicherheitssaum um das Zielvolumen gelegt. Dieser Sicherheitssaum kann nicht beliebig groß gewählt werden, da umgebendes Normalgewebe sowie Risikoorgane bestmöglich geschont werden müssen. Um den Sicherheitssaum optimal zu dimensionieren, soll in dieser Arbeit die interfraktionelle Beweglichkeit der Prostata anhand von CT-Serien untersucht werden.Grundlage für diese Arbeit stellen Planungs- als auch wöchentlich in Bestrahlungsposition durchgeführte Kontroll-CT-Serien der Beckenregion von insgesamt 24 Patienten mit Prostatakarzinom dar. In der vorliegenden Arbeit konnte die Prostatabewegung in drei Raumrichtungen relativ zu den knöchernen Strukturen nachgewiesen werden. Aus den ermittelten Verschiebungen konnte ein Sicherheitssaum für das Zielvolumen empfohlen werden.
Das Ziel dieser Arbeit ist es dem Leser einerseits einen Gesamtüberblick bzw. Eindruck über die Kampfmittelnachsuche in Deutschland zu vermitteln und andererseits einen tieferen Einblick in bestimmte Bereiche zu geben. Diese Diplomarbeit gliedert sich in hauptsächlich drei, in etwa gleich intensiv behandelte, Bereiche. Der erste Themenblock beinhaltet die Aufgabe und Organisation der Kampfmittelräumung. Hierzu gehören Ursachenforschung, geschichtliche Entwicklungen, die wichtigsten Rechtsbereiche sowie der organisatorische Aufbau der Kampfmittelräumdienste und der Ausführung. Im zweiten Schwerpunktthema werden die geläufigsten Methoden und (Sondier)Techniken dargelegt, die Wirkungsweise beschrieben und ihre Grenzen und Möglichkeiten im Bereich der Kampfmittelsondierung erläutert. Des Weiteren handelt der Abschnitt von Verortungsverfahren. Der dritte Themenblock stellt die praktische Anwendung der beschriebenen theoretischen Aufgaben und Organisationsstrukturen sowie der beschriebenen Methoden und Techniken anhand von bearbeiteten Projekten dar. Da bei beiden vorgestellten Bauvorhaben zwar der Bereich der Kampfmittelräumung bereits abgeschlossen werden konnten, die Bauarbeiten aber noch andauern, werden das Bauvorhaben und der Arbeitgeber nicht benannt. Als Abschluss wird neben einer kurzen Zusammenfassung, eine Diskussion über die Wahl der richtigen Sondiertechniken angeregt.
Die Reparatur und Reinigung von Fotomasken sind zwei entscheidende Arbeitsgebiete auf dem Weg zu einer defektfreien Maske. In der vorliegenden Arbeit wurden diese beiden Prozesse umfangreich charakterisiert und ihre Interaktion untersucht. Desweiteren konnten aus den gewonnen Erkenntnissen Ansätze zur Verbesserung abgeleitet werden.
Das Interesse an Organischen Solarzellen ist in den vergangenen Jahren rapide gestiegen. Optimierungen der Architekturen und Materialien haben die industrielle Produktion an die Grenze finanziell rentabler Serienfertiung gebracht. Zur weiteren Erhöhung der Wirkungsgrade steht besonders die Verbesserung der Absorptionsfähigkeit der Zellen im Fokus der Forschung. In dieser Arbeit werden pin-strukturierte Solarzellen mit dem Buckminsterfulleren C60 und Zinkphthalocyanin (ZnPc) als Absorbermaterialien durch Einbringen eines weiteren Moleküls in die Absorptionsschicht ergänzt. Die eingebrachten Farbstoffe Cumarin-6 und DCM wirken, wie ZnPc, als Elektronendonor. Durch Coverdampfen bei verschiedenen Raten werden die Volumenverhältnisse der Komponenten verändert und die Auswirkungen auf die elektrischen Parameter der Zellen beobachtet. Zusätzliche Messungen von optischen beziehungsweise elektrischen Eigenschaften erlauben Rückschlüsse auf die Prozesse innerhalb der Zellen. Eine Substrattemperierung während der Vakuumabscheidung ermöglicht Aussagen über die Veränderungen der Wirkungsgrade in Folge von Morphologieeffekten.
In dieser Arbeit werden die mechanischen, tribologischen und optischen Eigenschaften von Aluminiumnitridschichten untersucht, die mithilfe von PVD (Sputtern) abgeschieden wurden. Zunächst geht man auf die Eigenschaften ein, die von Aluminiumnitrid (-schichten) zu erwarten sind. Darunter zählen die strukturellen, mechanischen und die optischen Eigenschaften. Im darauf folgenden Teil wird auf die verwendeten Messverfahren eingegangen. Darunter zählen Wägemethode (Schichtdicke), Ellipsometrie (Schichtdicke und optische Konstanten), Röntgenreflektometrie (Schichtdicke), Deflexionsverfahren (mechanische Schichtspannungen), Ritztest (Tribologie, Haftfestigkeit), EDX- und XPS-Analyse (Zusammensetzung) und Röntgenphasenanalyse (Kristallstruktur). Der nächste Teil der Arbeit beschreibt den Sputterprozess. Danach folgt eine Übersicht über die Abscheidungen und die verwendeten Abscheideparameter (Druck, Stromstärke, Reaktivgasdruck, Gasflüsse, Spannung, Leistung, Beschichtungszeit). Im vorletzten Teil der Arbeit werden die, an den abgeschiedenen Schichten durchgeführten, Messungen interpretiert. Die daraus resultierenden Schichteigenschaften werden mit den erwarteten Eigenschaften verglichen. Als Letztes erfolgt eine Zusammenfassung
In der vorliegenden Arbeit wird die Entwicklung von silanbasierten PECVD-Prozessen zur Siliziumnitridabscheidung beschrieben. Ein Schwerpunkt der Untersuchungen liegt in der Bestimmung und Einstellung der Schichtspannung. Technologische Vorgabe an die Prozesse ist dabei die Abscheidung von spannungsfreien bzw. tensilen Schichten.Eine weitere Zielstellung ist ein bestimmter Siliziumanteil in der Siliziumnitridschicht, für dessen Ermittlung quantitative XPS-Analysen durchgeführt wurden. Die Bestimmung der optimalen Prozessparameter erfolgte in umfangreichen Versuchsreihen, in denen der Einfluss der Plasmaleistung, des Elektrodenabstands, der Prozessgasflüsse (Silan, Ammoniak, Stickstoff), der Temperatur und des Prozessdrucks auf die Schichteigenschaften festgestellt wurde. Im Ergebnis konnte ein Prozess zu Abscheidung von spannungsfreien Schichten entwickelt werden. Ferner konnten Möglichkeiten zur Erhöhung des Siliziumanteils im Siliziumnitrid erprobt und Ansätze zur weiteren Steigerung aufgezeigt werden. Untersuchungen zur Stabilität und Zuverlässigkeit der entwickelten Prozesse und Schichten runden das Ergebnis ab.
Diese Bachelorarbeit beschäftigt sich mit der Eignung des Level-AFM der Firma Anfatec Instruments für magnetische Messungen an Festplattenproben im Rahmen eines Praktikums. Eine Erweiterung der Ausbildungsmöglichkeiten stellt in einem Studium immer eine Bereicherung dar. Zu Beginn werden die Grundlagen der Atomkraftmikroskopie (AFM) und magnetischen Kraftmikroskopie (MFM) dargelegt. Des Weiteren werden der Aufbau sowie die Funktionsweise des AFM näher erläutert. Für die Untersuchungen wurden magnetische Proben aus dem Speicherbereich gewählt. Um die Tauglichkeit hinsichtlich Handhabung, Wartungsaufwand usw. beurteilen zu können, wurden verschiedene Kriterien zusammengestellt. Außerdem folgt eine Auseinandersetzung mit messtechnischen Problemen. Abschließend wird erläutert, warum das AFM erst nach einer Reparatur bzw. einem Austausch des Gerätkopfes für einen Praktikumseinsatz geeignet ist.
In der Halbleiterfertigung werden Run to Run Controler zur automatischen Nachregelung von Prozessdrifts eingesetzt. Zur Formulierung eines Regelgesetzes müssen die voneinander abhängigen Größen bekannt sein. Bei der Charakterisierung des Chemisch-Mechanischen Polierens (CMP) ist die Abtragsrate eine wichtige Kenngröße zur Berechnung einer optimalen Polierzeit. Für unterschiedliche Produkte gibt es unterschiedliche Abtragsraten. Durch den Einfluss von Verbrauchsmaterialien über deren Nutzungszeit ändert sich der Anlagenzustand. In dieser Diplomarbeit wurden Methoden zur Optimierung der Polierzeitberechnung für Oxid
Diese Arbeit beschreibt die Entwicklung eines Kommunikationsservers zum Abgleich von Datenhaltungssystemen unter Nutzung des .NET-Frameworks. Die Arbeit soll aufzeigen, welche Probleme bei der Entwicklung der Architektur zu lösen sind und worauf bei der Implementierung zu achten ist. An diversen Stellen werden alternative Umsetzungsmöglichkeiten aufgezeigt, sowie am Ende ein Ausblick gegeben, wie die Entwicklung fortzusetzen ist.
In der Diplomarbeit wird an einer Auswahl von Poliertüchern untersucht, inwieweit eine Reduktion der Anzahl an Defekten pro Wafer (Defektdichte) gegenüber einem Referenzprozess möglich ist. Das Hauptaugenmerk liegt dabei auf der Reduktion von Mikrokratzern. Dazu wird für jedes Poliertuch der jeweilig nutzbare Prozessraum ermittelt und ein geeigneter Arbeitsbereich für eine Defektdichteoptimierung definiert. Neben den Auswirkungen auf Mikrokratzer werden die auf die Poliertuchtypen optimierten Prozesse hinsichtlich weiterer Prozesskenngrößen untersucht. Dabei steht die Planarisierung als eines der wichtigsten Ziele des Chemisch-Mechanischen Polierens im Vordergrund.
Der Stationsalltag einer Fachkraft beinhaltet derzeit auch das manuelle Verteilen der Medikamente eines Patienten. Die Fachkraft sucht dabei für jeden Patienten die einzunehmenden Medikamente heraus und legt diese zur gewünschten Tageszeit in dessen persönliche Medikamentenbox. Diese Aufgabe erfordert ein hohes Maß an Konzentration und kostet viel Zeit. Zur Verbesserung dieser Situation kann ein Roboter, der die Medikamente automatisiert verteilt, beitragen. Dabei wird wertvolle Zeit gespart, die für die Pflege der Patienten aufgewendet werden kann. Ein Lösungsansatz zur automatischen Medikamentenverteilung wird in dieser Arbeit mit einem LEGO-Modell beschrieben. Dieses beinhaltet die Hardware-Konstruktion des Roboters und dessen Steuerung.