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Entwicklung und Qualifizierung einer periodischen Reaktivgas-Kammerreinigung bei PECVD-Prozessen
(2012)
Gegenstand der hier vorgestellten Arbeit ist die Entwicklung und Qualifizierung einer periodischen Reaktivgas-Kammerreinigung bei PECVD-Prozessen. Während der PECVD-Abscheidung wird nicht nur die Waferoberfläche beschichtet, sondern es erfolgt auch eine Belegung des Reaktorinnenraums. Mit jedem weiteren Abscheidungszyklus wächst die Kammerbeschichtung an. Um einen definierten Zustand herzustellen, muss die Akkumulation durch einen Reinigungsschritt entfernt werden. Hierfür wird ein plasmaaktiviertes Reaktivgas dem PECVD-Reaktor zugeführt, welches mit der Kammerbelegung zu einer stabilen gasförmigen Verbindung reagiert. Die Reaktionsprodukte werden anschließend abgepumpt und der Abgasnachbehandlung zugeführt. Durch das Entfernen der Reaktorbeschichtung werden stabile Prozess-bedingungen und ein kalkulierbares Partikelrisiko sichergestellt. Die Trockenreinigung ist ein sehr zeitintensiver Vorgang. Darüber hinaus werden dafür erhebliche Mengen klimawirksamer und kostenintensiver fluorierter Gase eingesetzt. Sowohl aus ökologischen, als auch ökonomischen Gründen ist es erstrebenswert den Ablauf der Reinigungsprozedur zu optimieren. Im etablierten Prozessablauf erfolgt die Beseitigung der Kammerakkumulation nach jeder Abscheidung. Im Rahmen dieser Arbeit wurde eine periodische Reinigung des Reaktors