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Das Ziel dieser Masterarbeit ist die Erstellung eines optischen Messsystems für die zeitgleiche Detektion von Stickstoffdioxid und Distickstofftetroxid mittels Cavity-Ring-Down Verfahren.
Darauf basierend wurde ein Messsystem erstellt, welches die Detektion von Stickstoffdioxid mit Hilfe von Cavity-Ring-Down-Spectroscopy bei 510 nm und Distickstofftetroxid über Cavity-Enhanced-Spectroscopy bei 270 nm ermöglicht. Durch die Messung in zwei unterschiedlichen Wellenlängenbereichen ist eine Referenzierung auf Stickstoffdioxid möglich, wodurch die Analyse der Konzentration von Distickstofftetroxid erfolgen kann.
Auf diese Weise könnten rechnerisch Stickstoffdioxidkonzentrationen von bis zu 98 ppb, sowie 80 ppb Distickstofftetroxid nachgewiesen werden. Der realisierte Messaufbau stellt eine Grundlage für weitere Untersuchungen von Stickoxidkonzentrationen an Atmosphäre auf der Basis der vorgestellten Messmethoden dar.
Intelligente Gebäudetechnologien und energetische Renovierung sowie Aufwertung bestehender Gebäude sind im Bereich der Architektur die aktuellsten Themen unserer Zeit. Für diesen Zweck werden Smart Windows entwickelt, die basierend auf der Grundlage des elektrochromen Effektes einen Vorteil hinsichtlich der Klimatisierung von Gebäuden liefern und dadurch den Energiebedarf eines Gebäudes minimieren können. Sie absorbieren insbesondere infrarote Strahlung und können zudem Räume optisch abdunkeln. Im Fall von EControl-Glas werden unter anderem Wolframoxidschichten als elektrochrome Materialen genutzt.
Das Ziel dieser Arbeit ist ein fundiertes Verständnis des Beschichtungsprozesses von WOx-Schichten zu erlangen und damit die Produktion zu optimieren. Hierfür ist es notwendig zunächst Prozessparameter mit Signalen der Plasmaspektroskopie zu koppeln, um im nächsten Schritt Eigenschaften der finalen Schichten mit Prozessparametern oder Plasmasignalen in Korrelation bringen zu können.
Um dies zu erreichen werden verschiedenste Prozessparameter bis außerhalb der während Produktionen verwendeten Prozessbereiche abgefahren und die Plasmasignale aufgezeichnet. Im nächsten Schritt werden für die Produktion von Schichten Arbeitspunkte festgelegt, die dann hinsichtlich ihrer elektrochromen Eigenschaften untersucht werden.
Es resultieren Linearfunktionen für die Bestimmung von Plasmarelativsignalen aus Prozessparametern. Außerdem sind Zusammenhänge zwischen elektrochromen Eigenschaften und Plasmarelativsignalen beziehungsweise Prozessparametern zu erkennen.