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Für die Fertigung mikrofluidischer Module in der Anwendung der Kapillaserelektrophorese wurden Laser- und Verfahrensparameter mit dem Excimer-Laser optimiert. Unter bestimmten Zielstellungen (Geometrie, Abtragsprofil, Rauhwerte) wurden Kreuz- und Doppel-T-Strukturen in einem ausgewählten Polymerwerkstoff hergestellt.