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- Bachelor Thesis (1)
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In der vorliegenden Arbeit wurden mittels PECVD und ICPCVD hergestellte SiC-Schichten hinsichtlich ausgewählter Schichteigenschaften, wie Brechungsindex, Schichtdicke bzw. Wachstumsrate, Homogenität, Bindungsverhältnissen, Schichtspannung und Schichtzusammensetzung, untersucht. Ziel dabei die Herstellung spannungsarmer bzw.