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Diese Arbeit befasst sich mit der Erprobung agiler Entwicklungsmethoden innerhalb eines großen Unternehmens. Dabei wird die Einsetzbarkeit dieser Methoden im gegebenen Umfeld betrachtet. Hierfür wird dieses zunächst beschrieben, um zum Abschluss Merkmale einer eventuellen Neuausrichtung besser einordnen zu können. Dabei hilft auch die kurze Darstellung bereits bekannter Qualitätsmerkmale eines Softwareentwicklungsprozesses. Der Einsatz agiler Entwicklungsmethoden soll jedoch nicht zum Ausbruch von Chaos und Ad-hoc-Programmierung führen. Die zielgerichtete Entwicklung bedingt einen fokussierten Ermittlungsprozess und eine Anforderungsanalyse, um effizient die Kundenwünsche in eine Softwarelösung einfließen zu lassen. Ob dieser Analyseprozess im Rahmen eines klassischen Vorgehens vorangestellt oder durch agiles Vorgehen integriert stattfinden kann, ist eine Kernfrage dieser Arbeit.
Im Rahmen der Diplomarbeit wird die Umsetzung eines geregelten Ablaufs von Änderungsanträgen innerhalb des IT-Bereichs der Kassenärztlichen Bundesvereinigung aufgezeigt. Nach Behandlung der notwendigen theoretischen Grundlagen, wird eine Analyse des Ist-Zustandes in Zusammenhang mit Änderungsanforderungen vorgenommen. Erhobene Daten eines fragebogengestützten Interviews sind der Heraushebung möglicher Schwächen dienlich und fließen in eine anknüpfende Bewertung ein. Anschließend wird ein Konzept erarbeitet, mithilfe dessen eine Ablösung der bestehenden Verfahrensweisen hin zu einem allgemeingültigen und anwendbaren Prozess vollziehbar ist. Dazu wird ein Modell entwickelt, welches den zukünftigen Ablauf darstellt und den vorhandenen Status die jeweiligen Rollen mit deren Aufgaben zuordnet. Abschließend wird die etablierte Umsetzung, dessen Grundlage eine Richtlinie bildet, vorgestellt.
Zielstellung der Evaluierung ist es, eine Aussage darüber zu treffen, ob die Anwendung des Materials Aquasave® bei Phasenschiebenden Masken als zusätzliche Lage auf Positivlack beim Schreiben der 1. Lage durch Elektronenstrahlschreiber produktionstauglich ist und Erwartungen hinsichtlich der Produktparameter CD, Auflösung, Platzierungsfehler und Linerität erfüllt.
Die Aufgabenstellung der oben genannten Diplomarbeit bestand darin, Siliziumschichten bezüglich ihres Stressverhaltens vor und nach thermischer Behandlung zu charakterisieren. Nach der grundlegenden Erläuterung der Entstehung von mechanischen Spannungen, der Charakterisierung der zur Untersuchung verwendeten Meßgeräte und der für die Untersuchung verwendeten Abscheideprozesse, steht das Schichtspannungsverhalten phosphordotierter Siliziumschichten auf 30 nm Siliziumdioxid bei thermischer Behandlung im Mittelpunkt.
In der Halbleiterfertigung von Qimonda Dresden traten vermehrt Partikelprobleme und erhebliche Störungen im Prozessfluss auf, die den jeweiligen FOUP (Transportbehälter für Wafer) als Verursacher vermuten ließen. Erste Untersuchungen bestätigten den Zusammenhang zwischen zu hohen Wafer- Temperaturen und Materialveränderungen der Wafersupports (Auflagen der Wafer im FOUP), welche die beschriebenen Probleme zur Folge hatten. Demnach existieren bei QD Tools und Prozesse, die Wafer mit zu hohen Temperaturen entladen. Ziel dieser Arbeit war es, die Ursachen und Auswirkungen zu hoher Wafer-Entlade-Temperaturen ingenieurwissenschaftlich zu untersuchen und die Problem verursachenden Tools und Prozesse zu identifizieren. Durch geeignete Untersuchungsmethoden konnte die Kausalität erhöhter Wafer-Entlade-Temperaturen zu den beschriebenen Problemen hergestellt werden. Dieser Nachweis und die anschließende Quantifizierung zeigte als Ergebnis die eingeschränkte Temperaturbeständigkeit der bei QD eingesetzten FOUPs bzw. deren Wafersupports auf. Basierend auf den gewonnenen Erkenntnissen wurde eine Qimonda- Spezifikation für maximal zulässige Wafer-Entlade-Temperaturen erstellt und eingeführt. Mithilfe einer neu entwickelten Messmethode zur direkten Messung von Wafer-Entlade-Temperaturen (Temperatur-Mess-FOUP) konnten typische Hochtemperaturprozesse hinsichtlich der Einhaltung dieser neu definierten Spec-Grenze untersucht und dadurch die verursachenden Tools und Prozesse identifiziert werden. Ferner wurden durch den Einsatz des Temperatur-Mess-FOUPs Prozesse, Tools und FOUPs hinsichtlich ihrer Optimierungsmöglichkeiten im Zusammenhang mit hohen Wafer-Entlade-Temperaturen analysiert und deren Verbesserungspotential aufgezeigt.
Ziel der vorliegenden Arbeit ist die Bestimmung der Neutralgastemperatur mittels hochauflösender optischer Emissionsspektroskopie in einem modernen CCP Plasmaätzreaktor zur Fertigung höchstintegrierter Speicherbauelemente. Die Neutralgastemperatur wurde dabei aus dopplerverbreiterten Linienprofilen der Ha- und der Hß-Linie der Balmerserie von atomarem Wasserstoff bestimmt. Es wurden Neutralgastemperaturen im Bereich von 1200 K bis 2500 K ermittelt, die die aus der Literatur bekannten Abschätzungen und Messungen der Neutralgastemperaturen in CCP Reaktoren bestätigen. Die sich einstellenden Neutralgastemperaturen wurden auf ihre Abhängigkeiten von folgenden Prozess- und Anlagenparametern experimentell untersucht, insbesondere: RF-Leistung, Druck, magnetische Flussdichte, Gasgemisch und Wafermaterial.
Experimental and theoretical investigation of mechanical stresses in Through-Silicon-Vias (TSV)
(2007)
In the work an experimental and theoretical investigation of the influence on the wafer bending of Through-Silicon-Vias (TSV) and their processing is presented. In a first step the influence of the anisotropic material properties of silicon and the thicknesses of an oxide hard mask and a tungsten film were analyzed at room temperature and as a function of the temperature up to 500 °C. For this purpose, the wafer bow was determined experimentally. In a second step, the analysis was extended to structured wafers. Wafers with Through-Silicon-Vias were etched and coated subsequently with several films. The wafer bow at room temperature was monitored stepwise. The theoretical analysis of bow and stress was done by using the Finite-Element-Program ANSYS. Models for unstructured wafers with various films were developed and the results compared with the experimental bow. For structured wafers, a model of a single via was generated; local deformations, stresses and the stress distribution were determined. To attempt the simulation of fully structured wafers, an effective medium model was developed as first step approximation.
Der Gegenstand der Arbeit ist die Untersuchung der Einflüsse wichtiger Prozessparameter auf Veraschungsprozesse von Fotolacken. Bei dem Veraschen handelt es sich um ein reaktives Trockenätzverfahren mit einem induktiv eingekoppelten Plasma. Die Methode dient vorwiegend zum Ätzen von Fotolacken. Der Prozess kann aber auch zur Reinigung der Oberfläche verwendet werden. Das Lackveraschen wird in der Technologieebene der Umverdrahtung (redistribution layer (RDL)) genutzt. Durch den Schichtabtrag verändern sie die Lackmaske und damit auch die Leiterbahngeometrie. In einem weiteren Prozessschritt dient der Fotolack als Passivierungsschicht, wobei die Lackdicke unerwünschte Kapazitäten beeinflusst. Es werden O2 - und CF4/O2 -Ätzprozesse an einem positiven (Clariant AZ 4620) Fotolack untersucht. Durch verschiedene Messverfahren wird der Lackabtrag in Abhängigkeit wichtiger Prozessparameter sowohl an Einzelpunkten, als auch über die gesamte Waferfläche charakterisiert. Dazu gehören der O2-Gasfluss, der CF4-Gasfluss, die eingekoppelte Leistung, der Kammerdruck und die Prozessdauer. In der Veraschungsanlage befindet sich als weiteres Prozessgas noch Stickstoff, dessen Einfluss auf den Prozess hinsichtlich der Abtragsrate und des Abtragsverhaltens untersucht wird. Um die Wechselwirkungen der einzelnen Prozessparameter untereinander zu beschreiben und damit zu einen möglichst effizienten Prozess zu kommen, werden die experimentellen Bedingungen mit Methoden der statistisch Versuchsplanung (DoE) berechnet und die Querabhängigkeiten ausgewertet.
Die vorliegende Diplomarbeit gibt einen Beitrag zur Einschätzung des geothermischen Potentials im Elstergrundwasserleiter der Stadt Plauen für die dezentrale Wärme- und Kälteversorgung mit dem Wasser-Wasser-Verfahren. Die Einschätzung beruht auf Archivrecherchen und Messungen der Grundwassertemperatur durch die Aufnahme von vertikalen Temperaturprofilen in den Tiefbrunnen der Stadt Plauen. Die Ergebnisse der Messungen sowie Berechnungen der Wärmeleistung und Konflikte sind in GIS-Informationsebenen gespeichert und als Kartenmaterial zu einem Wärme- und Kälteatlas zusammengeführt. Eine erstellte Bewertungsmatrix soll bei der Bewertung von Einzelstandorten eingesetzt werden.
Der ständige Anspruch die alltäglichen Systeme zu verbessern, indem sie optimiert und erweitert werden, erfordert eine permanente Verbesserung der Entwicklungsprozesse. Hierfür kann, mit Hilfe der Einführung neuer Entwicklungskonzepte, der gesamte Prozess verbessert werden. Im Gegensatz zur Prozesserneuerung besteht die Möglichkeit die einzelnen Entwicklungsphasen zu überarbeiten, indem neue Methoden eingeführt werden. Dementsprechend werden in dieser Master Thesis formale Methoden untersucht, die die Analysephase und den Anforderungsmanagementprozess unterstützen sollen. Die Unterstützung bezieht sich dabei auf die Vorteile, die ein Entwicklungsteam durch die Nutzung von Formalismen und formalen Sprachen erhält. Mit Hilfe dieser Vorteile und der rechnergestützten Datenverarbeitung soll es möglich sein, der zunehmenden Systemkomplexität zu entgegnen, indem die Spezifikation und das Management von funktionellen Anforderungen verbessert wird. Hierzu wird der Anforderungsmanagementprozess im Allgemeinen und in der Automobilindustrie dargestellt. Weiterhin werden spezielle formale Methoden vorgestellt und analysiert, die den Bereich der Beschreibung funktioneller Anforderungen bei reaktiven Systemen umfassen. Aus der Analyse heraus wird ein Formalismus identifiziert, der eine mögliche Unterstützung im speziellen Anforderungsmanagementprozess des Automotivbereiches bieten soll. Ausgehend von dieser konkreten formalen Methode, wird gleichfalls ein prinzipielles methodisches Vorgehen beschrieben. Dieses wird unter Nutzung eines entsprechenden Anwendungstools für eine praktische Anwendbarkeit untersucht.
Ein Unfall oder eine Krankheit erfordert in der Medizin oft den Ersatz geschädigter Gewebe. Zum Beispiel sind in 10-15% der operativen Eingriffe in der Orthopädie und Unfallchirurgie Knochenersatzstoffe notwendig [Maus]. Körpereigenes Knochengewebe ist dabei als Kno-chenersatz das Optimum. Der Bedarf wird soweit möglich durch autologes Material gedeckt, welches aber häufig nicht in ausreichender Menge vorhanden ist. Das Tissue Engineering könnte dieses Problem in der zukünftigen Medizin lösen. Es ermöglicht die Kultivierung und Vermehrung körpereigener Zellen auf geeigneten Trägermaterialien (Scaffolds), welche an-schließend in den Defekt implantiert werden. Voraussetzung für eine erfolgreiche Zellbesie-delung sind dabei sterile und stabile Trägermaterialien. Ein materialschonendes Sterilisationsverfahren der teils organischen Trägermaterialien ist deshalb entscheidend. Im Rahmen dieser Arbeit wurden in der Arbeitsgruppe Tissue Engineering und Biomineralisation entwickelte Trägermaterialien (Scaffolds) verwendet. Diese Scaffolds wurden mit verschiedenen Verfahren sterilisiert und anschließend vergleichend untersucht. Die ausgewählten Untersuchungs-Parameter sind das Quellverhalten, die Morphologie, die mechanische Belastbarkeit sowie das Besiedelungsverhalten mit humanen mesenchymalen Stammzellen und deren Differenzierung zu Osteoblasten. Resultierend konnten die Auswirkungen der verschiedenen Sterilisationsverfahren auf die Scaffolds, als auch die tendenzielle Eignung dieser Verfahren diskutiert werden.
Der Wert von 3D-Daten steigt in dem Maße, in dem diese Daten für verschiedene Dinge verwendet werden können. X3D ist dabei eine Möglichkeit, 3D-Daten effizient für verschiedene Anwendungsgebiete zur Verfügung zu stellen. Es wurde entwickelt, um sowohl lokal auf einem Computer als auch im Internet eingesetzt zu werden. Auch wurde es mit der Absicht entwickelt, den Austausch von 3D-Daten zwischen Anwendungen zu vereinfachen. Diese Arbeit stellt den X3D-Standard vor und geht dabei auf die Bereiche ein, welche notwendig sind, um 3D-Szenen zu erstellen. Die einzelnen Bereiche werden dabei an Beispielen erläutert. Insbesondere werden einige Teile des Standards besprochen, welche eine Erweiterung zum Vorgänger VRML darstellen. Ebenso werden die Schnittstellen zu Java und der OpenGL shading language erläutert, so dass entsprechende Projekte mit den hier demonstrierten Methoden eingebunden und verwendet werden können. Ebenso wird Software vorgestellt, welche die Erstellung von X3D-Szenen vereinfacht und sich vor allem für Einsteiger eignet.
Das Erarbeiten von Architektur- und Prozessmodellen im Unternehmen ist eine anspruchsvolle Aufgabe, da komplexe Zusammenhänge möglichst einfach dargestellt werden sollen. Um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen, ist eine systematische Vorbereitung und Durchführung der Modellierungsphase erforderlich. Gegenstand dieser Arbeit ist, die Architekturmodellierung mittels 3LGM² um die Möglichkeit einer prozessorientierten Betrachtung betrieblicher Abläufe durch eine geeignete Modellierungsnotation zu erweitern. Es wurden verschiedene Notationen strukturiert beschrieben und anhand eines Beispielprozesses abgebildet. Die Betrachtung der Notation gliedert sich in eine allgemeine Beschreibung über die Entstehung und die Anwendung jener Methode und eine Beschreibung der grafischen Symbole, über welche sie verfügt. Der Beispielprozess beschreibt einen Ausschnitt des Vertriebs von Informationstechnik und wurde in der jeweiligen Notation dargestellt. Auf dieser Grundlage erwies sich die Ereignisgesteuerte Prozesskette (EPK) als am Besten geeignet für die identifizierten Anforderungen. Darauf aufbauend wurden das 3LGM²-Modell für die Darstellung von Geschäftsprozessen überarbeitet und verschiedene Lösungsansätze für die Anpassung des 3LGM²-Baukastens aufgezeigt. Weiterhin ist es Ziel, ein Vorgehensmodell für die Analyse und Modellierung der Architektur eines Informationssystems und von Geschäftsprozessen zu erarbeiten. Dieses Vorgehen zur Analyse und Modellierung wird anhand des HBK vorgestellt. Hierfür wurde die Architektur der Verwaltung analysiert und modelliert. Beispielhaft wurden ausgewählte GP der Verwaltung modelliert.
Ein Unfall oder eine Krankheit erfordert in der Medizin oft den Ersatz geschädigter Gewebe. Zum Beispiel sind in 10-15% der operativen Eingriffe in der Orthopädie und Unfallchirurgie Knochenersatzstoffe notwendig [Maus]. Körpereigenes Knochengewebe ist dabei als Kno-chenersatz das Optimum. Der Bedarf wird soweit möglich durch autologes Material gedeckt, welches aber häufig nicht in ausreichender Menge vorhanden ist. Das Tissue Engineering könnte dieses Problem in der zukünftigen Medizin lösen. Es ermöglicht die Kultivierung und Vermehrung körpereigener Zellen auf geeigneten Trägermaterialien (Scaffolds), welche an-schließend in den Defekt implantiert werden. Voraussetzung für eine erfolgreiche Zellbesie-delung sind dabei sterile und stabile Trägermaterialien. Ein materialschonendes Sterilisations-verfahren der teils organischen Trägermaterialien ist deshalb entscheidend. Im Rahmen dieser Arbeit wurden in der Arbeitsgruppe Tissue Engineering und Biominerali-sation entwickelte Trägermaterialien (Scaffolds) verwendet. Diese Scaffolds wurden mit ver-schiedenen Verfahren sterilisiert und anschließend vergleichend untersucht. Die ausgewählten Untersuchungs-Parameter sind das Quellverhalten, die Morphologie, die mechanische Belast-barkeit sowie das Besiedelungsverhalten mit humanen mesenchymalen Stammzellen und deren Differenzierung zu Osteoblasten. Resultierend konnten die Auswirkungen der verschiedenen Sterilisationsverfahren auf die Scaffolds, als auch die tendenzielle Eignung dieser Verfahren diskutiert werden.