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Schichtdicken schwanken bei strukturierten DRAM - Scheiben prozessbedingt durch die Halbleiterfabrikation. In der vorliegenden Arbeit wird die Nutzung von Makro - Farbdaten zur Erweiterung der Schichtcharakterisierung untersucht. Dabei kommen verschiedene Stabilitäts- und Zonenuntersuchungen zum Einsatz. Im Ergebnis werden Farbeffekte als Inhomogenitäten auf strukturierten Siliziumscheiben gezeigt und detektiert. Die Ergebnisse bieten Hinweise auf Anwendungen für verschiedene Oberflächenbeschaffenheiten.