@mastersthesis{Banert2023,
  author      = {Michaela Banert},
  title       = {Automatisierte Fehlerdetektierung in der Halbleiter-Waferproduktion mittels maschinellen Lernens},
  type        = {masterthesis},
  pages       = {72},
  school      = {Wests{\"a}chsische Hochschule Zwickau},
  year        = {2023},
}