@misc{Walbert2009,
  author    = {Steffen Walbert},
  title     = {Charakterisierung von AFM-Cantilevern auf Basis des Photoresists SU-8},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  type      = {diplom},
  pages     = {99 Seiten, 54 Abb., 27 Tab., 45 Lit.},
  year        = {2009},
}