TY - THES A1 - Zimmer, Alexander T1 - Konzeptstudie für die Entwicklung einer Avalanche Photodiode in einer 0,18 µm Hochvolttechnologie T1 - A concept study for the development of an Avalanche Photo Diode in a 0.18 µm high Voltage technology N2 - Die Konzeptstudie befasst sich mit der Evaluierung unterschiedlicher Konzepte von Avalanche Photodioden in einer 0,18 µm CMOS- Hochvolttechnologie. Die Anforderungen für die Avalanche Photodioden liegen bei einer Durchbruchspannung von 14 V in Sperrrichtung und haben eine maximale Quanteneffizienz von 850 nm/940 nm im nahen infraroten Bereich. In Betracht wurden fünf verschiedene Strukturen gezogen. Anhand von TCAD-Simulationen ließen sich unterschiedlichen Parameter der APDs untersuchen und Prozesseinflüsse definieren. Ein Abgleich der Simulationsmodelle erfolgt über die Messung mit einer Referenzdiode. Mit dieser Vergleichsmessung lässt sich die Gültigkeit der Simulation bestätigen oder widerlegen. Nur so können die Ergebnisse der APDs eingeordnet werden. KW - Lawinenphotodiode KW - CMOS KW - Simulation KW - Halbleitertechnologie KW - (TCAD) Y1 - 2018 UR - https://libdoc.fh-zwickau.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/10108 ER -