TY - THES A1 - Preuß, Marco T1 - Dispersion-Controlled Low-Coherent Interferometry for Thin-Film Characterization N2 - Es wird ein neuartiges, interferometrisches Verfahren zur Analyse dünner Filme beschrieben. KW - Interferometrie KW - Dünne Filme KW - dispersions-kontolliert KW - Thin-film characterization Y1 - 2018 UR - https://libdoc.fh-zwickau.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/10439 ER -