@misc{Dankert2018, author = {Martin Dankert}, title = {Prozessfenstercharakterisierung eines neuen Photoresists zur Einf{\"u}hrung in der Lithographie im Aluminium - BEOL in der 28 nm Technologie}, institution = {Elektrotechnik}, type = {bachelorthesis}, pages = {50 Seiten, 43 Abb., 24 Tab., 9 Lit.}, year = {2018}, }