@misc{Lindner2018,
  author    = {Jeremy Lindner},
  title     = {Selektives Laserdotieren von Siliziumoberfl{\"a}chen mit Phosphors{\"a}ure},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  type      = {bachelorthesis},
  pages     = {60 Seiten, 52 Abb., 9 Tab., 17 Lit.},
  year        = {2018},
}