@mastersthesis{Kretzschmar2018, author = {Bj{\"o}rn Kretzschmar}, title = {Flammengest{\"u}tzte Abscheidung verschiedener Schichtsysteme und Optimierung des r-CCVD Prinzips}, type = {masterthesis}, pages = {62 Seiten, 31 Abb., 11 Tab., 128 Lit.}, school = {Wests{\"a}chsische Hochschule Zwickau}, year = {2018}, }