TY  - THES
A1  - Kretzschmar, Björn
T1  - Flammengestützte Abscheidung verschiedener Schichtsysteme und Optimierung des r-CCVD Prinzips
T1  - Flame-assisted deposition of various layer systems and optimizing of the r-CCVD technique
N2  - Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der flammengestützen Abscheidung verschiedener Schichtsysteme unter der Zuhilfenahme des remote Combustion Chemical Vapor Deposition Verfahrens. Zahlreiche und hydrolytisch umsetzbare Precursoren konnten recherchiert werden. Unter verschiedenen Bedingungen erfolgte eine Auswahl an bestimmten Precurso-ren zur Erprobung. Titandioxid- (mittels Titantetraisopropoxid und Titanethoxid), Siliziumdi-oxid- (Hexamethyldisiloxan und Triethoxyorthosilikat), Aminosilan- (3-Aminopropyltriethoxysilan) und Aminotitanatschichten (Isopropyl tri(N-ethylene diamino)ethyl titanat) wurden erzeugt und ihre Schichteigenschaften mit unterschiedlichen instrumentellen Anlagen charakterisiert. Zu den Charakterisierungsmöglichkeiten gehörten ein Profilometer zur Schichtdickenbestimmung, Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS) und energie-dispersive Röntgenspektroskopie (EDX) zur Elementanalyse sowie ein Röntgendiffraktome-ter mit streifendem Einfall (GIXRD) zur Zusammensetzungsbestimmung. Weiterhin erfolgten Rasterelektronen- (REM), Raster-Kraft-Mikroskopie (AFM) und Grauwertmessungen zur Bestimmung der Oberflächenbeschaffenheit. Die Anlagenoptimierung erfolgte hinsichtlich Abscheiderate durch die Erprobung unternehmensentwickelter Verdampfereinheiten und hin-sichtlich des Prozessparameters Temperatur der Precursorsprühleiste.
N2  - This thesis investigates the flame-assisted deposition of various layer systems with the help of the remote Combustion Chemical Vapor Deposition technique. Numerous, hydrolytic real-izable precursors were researched. Under various conditions some of these precursors were tested. To produce titaniumdioxide, silicondioxid and aminogroups layers on floatglas sub-strates titaniumtetraisopropoxide, titaniumethoxide, hexamethyldisiloxane, 3-aminopropyltriethoxysilane and isopropyl tri(n-ethylene diamino)ethyl titanate were used. Structure properties were characterized using analytical tools, including profilometer, x-ray photoelectron spectroscopy (XPS), energy dispersive x-ray spectroscopy (EDX), grazing incidence x-ray diffraction (GIXRD), scanning electron microscopy (SEM), atomic force mi-croscopy (AFM) and grey scale value measurement. Deposition rate and temperature of pre-cursor spray ledge were optimized.
KW  - Titandioxid
KW  - Verbrennung
KW  - CVD-Verfahren
KW  - Siliziumoxid
KW  - Amino-Funktionalisierung
KW  - Verdampfereinheit
Y1  - 2018
UR  - https://libdoc.fh-zwickau.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/10106
ER  -