TY  - GEN
A1  - Wiegand, Axel
T1  - Untersuchungen zum plasmagestützten chemischen Hochrateätzen
N2  - Das Ziel dieser Arbeit ist es, den Nachweis zu erbringen, daß lokales plasmagestütztes Hochrateätzen (PACE) an Quarz mit linear bewegter Quelle zur Herstellung von Hochleistungsoptiken möglich ist. Zielstellung ist die Entwicklung eines plasmachemischen Hochrateätzverfahrens. Es soll ein effektives wirtschaftliches Verfahren entwickelt werden, welches hohe Genauigkeiten, große Bearbeitungstiefen und sehr große Abtrageraten an optischen Gläsern realisieren kann. Dieses Verfahren soll Einsatz in der Bearbeitung von großen Oberflächen und bei der Herstellung von Asphärenoberflächen finden. <!-- #h:dissdiplPlasma Ätzen.doc# -->
KW  - Plasma Ätzen
KW  - PACE
KW  - Hochleistungsoptiken
KW  - Oberflächenrauhigkeit
Y1  - 2000
UR  - https://libdoc.fh-zwickau.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/189
ER  -