TY  - GEN
A1  - Staudte, Ulrike
T1  - Durchführung von Untersuchungen zur Defektoskopie von Zirkonoxid-Foliensubstraten
N2  - Ziel der Diplomarbeit ist die Anpassung und Auswertung von Untersuchungen zur Defektoskopie von Zirkonoxid-Foliensubstraten mit dem Reflexionsverfahren. Es wird der Versuchsaufbau und die Durchführung beschrieben. Weiterhin werden die gewonnenen Ergebnisse mit den Messungen des Autofokusverfahrens, des Streifenprojektionsverfahrens und dem Mirau-Interferometer verglichen. Der Vergleich zeigt die wesentlichen Vor- und Nachteile der einzelnen Meßverfahren bei der Detektion von Oberflächenfehlern auf Zirkonoxid-Folien. <!-- #h:dissdiplOberflächenmeßtechnik.doc# -->
KW  - Reflexion <Physik>
KW  - Autofokussystem
Y1  - 2000
UR  - https://libdoc.fh-zwickau.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/573
ER  -