@misc{Jaeckel2000,
  author    = {Karen J{\"a}ckel},
  title     = {Untersuchungen zum biokompatiblen Verhalten von plasmagest{\"u}tzt hergestellten d{\"u}nnen Schichten auf der Basis von reinem Kohlenstoff, Titan, TIN, Si3N4},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  type      = {diplom},
  pages     = {61 Seiten, 22 Abb., 24 Tab., 46 Lit.},
  year        = {2000},
}