@misc{Gumprich2003,
  author    = {Susann Gumprich},
  title     = {Untersuchung der M{\"o}glichkeiten zur Verbesserung der Schichtdickenhomogenit{\"a}t bei Sputtern mit dem Doppelring-Magnetron durch zentrische und exzentrische Substratrotation},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  type      = {diplom},
  pages     = {58 Seiten, 40 Abb., 1 Tab., 19 Lit.},
  year        = {2003},
}